Hoewerkt een druksensor
MEMS drukmeting technologie maakt gebruik van een uit een stuk gefabriceerd metaal en MEMS rekstrookjes. Deze technologie zorgt voor een nauwkeurige en stabiele meting onder de meest extreme omstandigheden. De rekstrookjes zijn moleculair gefundeerd op het metalen membraanoppervlak met behulp van anorganische materialen en hoge temperaturen. Wanneer de temperatuur wordt verlaagd, stolt het anorganische bindmateriaal en verbind het silicium renstrookje exact in het midden van de sensor, waardoor het meetelement uit een enkel deel bestaat.
Met een operationele spanning van minder dan vijftien procent (15%) van het metaal, vertonen druksensoren die deze MEMS technologie gebruiken
minder snel metaalmoeheid, een hogere belastingsdruk en een uitstekende lange termijn stabiliteit. Een eenvoudig voorbeeld hiervan is het meerdere keren opblazen en leeg laten lopen van een ballon. Het rekken en vervormen is afhankelijk van de dikte van de ballon. De principes van drukmeting zijn hetzelfde.
Als het membraan dichter bij de breukgrens onder druk wordt gezet, zal een verandering in de vorm optreden. Deze verandering zal het signaal over tijd doen verschuiven. MEMS druk technologie zou vergelijkbaar zijn met het oppompen van de banden van een fiets of van een auto met dezelfde methode.
Door anorganische materialen te gebruiken bij het hechten van de rekstrookjes op het membraan, ontstaat een druksensorelement met een bijna oneindige houdbaarheid. De toegepaste elementen van Core Sensors geven tevens een groot uitgangssignaal en zijn nagenoeg ongevoelig voor thermische invloeden. Voor bepaalde toepassingen, kan Core sensors oplossingen met een extreem hoge druk produceren. Druk transducers en transmitters zijn leverbaar met een druk tot 60.000 psi (4000 bar).
Een typische druksensor is opgebouwd uit een membraan, het schroefdraad voor de procesaansluiting en de hexmaat voor het vast draaien. Voor sensoren die MEMS druk technologie gebruiken zijn deze drie elementen verenigd in een enkel element. Een stuk metaal wordt aan de buitenkant in de juiste vorm gefreesd en de binnenkant wordt uitgeboord tot de juiste maat. De vloeistof of het gas is geheel opgesloten in de procesaansluiting van het sensorelement.
Andere sensor technologieën kunnen een keramisch membraan vastzetten met een O-ring, gebruiken een met olie gevulde ruimte om de druk over te brengen of lassen een diafragma op de procesaansluiting. Krystal Bond ™ vereenvoudigt het ontwerp door het gebruik van een enkel materiaal zonder mogelijke lek paden. Hierdoor zijn mogelijke besmetting risico’s uitgesloten.
Sensoren met MEMS druk-technologie zijn ontworpen met een hoge elektrische isolatie en lage lekwaarden bij 500VAC, waardoor de druksensor ideaal is voor proces controle.
MEMS druk technologie kan worden toegepast op een verscheidenheid aan materialen zoals 17-4PH, 316L, Inconel 718, Hastelloy C276 en titanium, de druk sensoren zijn ontworpen in verschillende groottes en met verschillende procesaansluitingen om aan de vraag van de klant te beantwoorden. Van zuur gas in een olieveld tot medische pompen in het menselijk lichaam; MEMS technologie voldoet aan verschillende vloeistof en gas eisen.
Lage druk technologie
Voor alle producten met een meetbereik van 15 PSI en lager, maakt AST gebruik van een roestvrij stalen membraan gevuld met een silicone-olie, gecombineerd met MEMS druk Technologie. De toegepaste lage druk technologie vergroot het gamma van Core Sensors om oplossingen aan te bieden, voor manometers en verschildrukken tot 1 PSI.
